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编译服务: 纳米科技领域信息门户服务 编译者: 郭文姣 编译时间: 2018-1-11 点击量: 77

对空气质量的控制和分析已成为近二十年来的主要问题。2008年,欧洲联盟(European Union)提出了一项指令(2008/50/EC),以对包括BTEX气体在内的一些污染物的测量义务和阈值,考虑到它们对健康的不利影响。本文介绍了一种基于金属氧化物薄膜的气体微传感器检测低浓度BTEX的能力。一个能够产生非常低的蒸汽浓度的测试工作台已经实现并且完全自动化了。利用反应磁控溅射技术实现了薄金属氧化物层。利用热蒸发技术,利用金纳米粒子对敏感层进行了功能化处理。我们的传感器已经在BTEX (5 - 500 ppb)的广泛浓度范围内进行了测试,并且能够检测出在593 K以下的操作温度下的一些ppb的浓度。这些结果对于检测室内和室外应用的低BTEX浓度非常有希望。我们发现,在敏感层上添加金纳米颗粒会降低传感器的工作温度,增加对BTEX气体的响应。基于ZnO的敏感层得到了最佳的结果。

 

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