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编译服务: 纳米科技领域信息门户服务 编译者: 郭文姣 编译时间: 2018-1-4 点击量: 1004

通过化学气相沉积法(CVD),我们演示了一种有效的去除聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)层的技术。这是在使用传统有机溶剂之前,利用电子束轰击和发展过程实现的。在转移的石墨烯上制备了场效应晶体管,以探索其在环境条件下的Dirac点和载体运动,然后与常规湿化学处理的结果进行比较。研究发现,与丙酮和乙酸处理方法相比,狄拉克点与零栅偏压接近。最重要的是,场效应的移动性达到了6770 cm2/ Vs和7350 cm2/ Vs的平均孔洞和电子,这比传统的丙酮处理对cvd生长石墨烯装置的改进要高出7倍以上。

——文章发布于2017年12月22日

 

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