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编译服务: 集成电路 编译者: Lightfeng 编译时间: Aug 20, 2018 浏 览 量: 1

美国纽约的外延沉积和加工设备制造商Veeco Instruments Inc表示,其双室GEN10自动分子束外延(MBE)集群系统赢得了马克斯普朗克微结构物理研究所(MPI-MSP)的招标,并且德国支持复杂氧化物的研究。

氧化物氮化物层结构的需求增加,因为其在完善下一代节能纳米器件和先进数据存储方面具有很大的潜力。MPI-MSP的离子、自旋和电子(NISE)纳米系统部门旨在利用Veeco的MBE技术扩展研究和开创新应用。

Veeco的MBE系统继续扩大其在全球研发领域的影响力,MBE和ALD产品副总裁兼总经理Gerry Blumenstock表示:“我们很高兴Parkin博士和他的团队对我们的MBE专业知识充满信心,我们期待MPI-MSP在未来将继续引领复杂氧化物的研发探索和应用。”

  
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